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日期:2024-07-13
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日期:2024-07-16
摘要 本論文中利用 中央大學微光電實驗室的化學氣相沉積系統,主要藉由 調變SiH4 與GeH4氣體流量比、反應環境溫度,得以調控複晶矽鍺薄膜中的 ......
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日期:2024-07-15
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