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![長興光阻事業部-乾膜光阻 - 長興材料工業股份有限公司]()
www.eternal-group.com乾膜光阻 ... 本公司目前所開發之液態聚醯亞胺 ( Polyimide; PI）材料，俱有可調控熱膨脹係數、低吸濕膨脹係數、低應力、高固型份、低黏度與高透明性之特性。瀏覽：389 -
![[技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用- 《半導體科技．先進封裝與測試 ...]()
ssttpro.acesuppliers.com本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗 佈 ...瀏覽：1012
![[技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用- 《半導體科技．先進封裝與測試 ...](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_28.jpeg)
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SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備，可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備，到最大300mm之高階生產系統的完整產品線，因此可在相同的 ......
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光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 光阻化學. ▫ 始於印刷電路技術. ▫ 1950年代後為半導體工業採用. ▫ 圖案化製程 ......
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RFP 系列, 滾輪式塗佈正型光阻. TFP 系列, 旋塗式塗佈正型光阻（較高感光度）. SZP 系列, 旋塗式塗佈正型光阻（較低感光度）. HKT 系列, 旋塗式和狹縫/旋塗式塗佈正 ......
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日期：2024-08-06
基本步驟，舊式技術. •晶圓清洗. •預烤. •底漆層和光阻的旋轉塗佈. •軟烘烤. •對準和曝光. •顯影. •圖案檢視. •硬烘烤. 光阻塗佈. 顯影 ......
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微影技術即為印刷製版技術，利用光罩將電路圖案轉移至光阻顯影，最後蝕刻完成。 ... 光阻的材料，通常是將感光性的樹脂成分溶解於有機溶劑中，利用旋轉塗佈將 ......
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日期：2024-08-09
... 圖案誤差增加，所以負光阻. 較不適合小於3um以下之製程技術。 ... 乎所有光阻塗 佈皆以旋轉塗蓋(Spin coating)來進行，如下圖所示。 光阻厚度除與光阻液黏性有關 ......
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