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![步進機]()
www.ccut.edu.tw微影技術即為印刷製版技術，利用光罩將電路圖案轉移至光阻顯影，最後蝕刻完成。 ... 光阻的材料，通常是將感光性的樹脂成分溶解於有機溶劑中，利用旋轉塗佈將 ...瀏覽：770 -
![[技術專文]新穎TFT-LCD光阻於先進Halftone製程的應用 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌]()
csot.acesuppliers.com光阻塗佈方式 的演進 如前所述，為了降低面板單位成本，玻璃基板大型化是最快速直接的 方式。但隨著玻璃基板逐 ...瀏覽：571
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日期：2024-10-12
台灣TFT LCD產業四代製程以下各廠多以旋轉 塗佈(spin coating) 的 方式將 光阻劑 塗佈於玻璃基板上，到五代製程 ......
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日期：2024-10-09
由於基面積擴大，新世代生產線的 光阻塗佈方式 將是重要考量，目前國 內光電業主流的顏料分散法使用的是旋轉塗佈 ......
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日期：2024-10-13
... 減少光罩製程次數；(2)更新塗佈設備 光阻塗佈方式；(3)使用再生光阻劑。 TFT-LCD面東Array段製程設備在四代 ......
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日期：2024-10-16
4 (圖:2-2) 。經過蒸鍍的晶圓表面，由親水性變成疏水性 (Si-CH 3)，增 加了與 光阻劑的附著力，再利用旋轉 塗佈 ......
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日期：2024-10-10
光阻劑. • 光敏感物質. • 暫時塗佈在晶圓上表面. • 經由曝光製程將設計圖案轉移其上. • 非常類似於塗佈在 ... 在預烤製程中通常以臨場方式沈積. • 在光阻塗佈前以冷卻 ......
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日期：2024-10-15
中文名稱, 光阻塗佈機, 英文名稱. Photo Resist Spinner. 儀器廠牌型號. Synrex 擎邦1-PM101D-R790. 購置年限. 1992年12月16日. 放置地點. 固態電子系統大樓1 ......
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日期：2024-10-11
微影的製程目的在於將光罩上的積體電路結構圖像，能夠轉移塗滿至光阻薄膜的晶 ... 其在晶圓上塗佈光阻方式利用旋轉塗佈為由在於，光阻材料多為液態，利用旋轉塗 ......
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日期：2024-10-12
濃縮及調配再生處理之光阻劑廢液，仍然能通過塗佈膜厚15000 ± 500 Å、均勻度. < 2.5%及含水率< ... 關鍵字：光阻劑、重複回收、冷風濃縮設備、塗佈膜厚預測方程式 ...... 手：(1)減少光罩製程次數；(2)更新塗佈設備光阻塗佈方式；(3)使用再生光阻劑；....
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