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日期:2024-07-20
隨著半導體製程技術演進,由以往0.18微米至現今90奈米線寬,晶圓表面之污染物控制更為嚴苛,於晶圓清洗後要求於其表面快速形成氧化層,目前以高濃度臭氧水溼式製程,達到產能大及氧化層厚度快速形成為主流;但半導體廠以往著重探討相關製程化學 ......
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日期:2024-07-23
絕緣層上矽分析及應用 明新學報32 期, Volume 32, Minghsin Journal 105 氧化,產生一層氧化層,控制氧化環境溫度使氧化層和矽層介面為低缺陷低雜質。當兩個晶圓都處理過 後,利用凡得爾力(Vender Walls force )的作用將元件晶圓和操作晶圓進行鏈 ......
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日期:2024-07-24
Marc Heyns , Paul W.Mertens , IMEC, Leuven,Belgium Jerzy Ruzyllo, Pennsylvania State University,University Park,Pennsylvania Maggie Y.M.Lee, Senior Technical Editor ,Solid State Technology 晶圓清洗是IC製程中最常重複使用的步驟。一般常用之濕式清洗技術 ......
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日期:2024-07-21
此一般的製程上,可用來製作靜態隨機存取記憶體、微控制器、微處理器、以及互補式
金氧半圖像傳感裝置與其他數位邏輯電路系統。 互補式金屬氧化物半導體具有 ......
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日期:2024-07-22
氧化的應用. ▫ 擴散的遮蔽層. ▫ 表面鈍化. ▫ 屏蔽氧化層, 襯墊氧化層, 阻擋用的氧化
層. ▫ 絕緣. ▫ 全區氧化層和矽的局部氧化. ▫ 閘極氧化層 ......
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日期:2024-07-27
加熱製程用於半導體製造的前段,通常. 在高溫爐中 .... 表面保護. –屏蔽氧化層(
Screen Oxide), 襯墊氧化層 ... 一層薄氧化層,厚度~150Å ,保護矽晶圓表面. 避免
污染 ......