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        而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜,其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統,與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有 ...
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        無塵室 ( 英語 : Cleanroom ,中國大陸譯作 淨室 ,港澳譯作)是指一個具有低污染水準的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米 ...
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    半導體無塵室的相關文章
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    日期:2024-08-19
    專題討論 何謂無塵室 指導老師 : 蕭瑞陽 班級 : 自控四甲 姓名 : 吳昇翰49612068 許學文49612088 無塵室定義: 可維持空氣中懸浮粒子在特定限制數量以內的房間內 英制 : 1立方英呎空間內的空氣中含有大於等於0.5um的灰塵顆粒數目 ISO : 標準是大於等於0.5um ......
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    日期:2024-08-22
    大川研真空為台灣代理銷售Tiger Vac無塵吸塵器,提供的無塵室吸塵器可用於半導體業、光學、生化、食品、醫學、製藥等產業,或有精密儀器設備,有EMI干擾之虞之處所。無塵室專用吸塵器擁有高效能、低成本、低躁音、防靜電、防EMI干擾等等特色,歡迎 ......
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    日期:2024-08-19
    3.無塵室工程 技術 無塵室結構施工 Source:美國Portlab 整廠設計 廠房土木工程 基座工程(foundation) 高架地板(raised floor) 空調管路(Air circulation) 隔板工程(Partition) ......
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    日期:2024-08-21
    1973年4月1日 - 空氣的潔淨度(cleanliness)區分等級 ... 無塵室等級分類:0.5μm Class 100、10000 、....
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    日期:2024-08-18
    台灣無塵室的數量越來越龐大,而在各個產業的使用上也越來越廣泛。其中,以 ..... 國際上除了對無塵室等級有所規範外,對於無塵室內的污染物控制及環境控制亦....
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    日期:2024-08-18
    净室(英语:Cleanroom,中国大陆譯作洁净室,台湾譯作无尘室)是指一个具有低污染 ... 一定之要求標準外,氣流的流線形狀也必須依不同的無塵室等級加以適當的控制。 ... 蕭開元、吳世全、林俊昌, 新建工程機電系統圖說規範訂定(I), 毫微米通訊, Vol....
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    日期:2024-08-22
    其中最常被採用的是垂直層流式無塵室,尤其是要求等級100以上的無塵室。 垂直式層流無塵室構造(1) (2)....
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    日期:2024-08-19
    半導體相關無塵室所佔的比重最多,超過了一半以上。改善無塵室 .... 至於無塵室 潔淨等級的標準,. 目前國際 ......