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![薄膜太陽能電池]()
www.kson.com.tw說明：薄膜太陽電池可以使用在價格低廉的玻璃、塑膠、陶瓷、石墨，金屬片等不同材料當基板來製造，形成可產生電壓的薄膜厚度僅需數μm，因此在同一受光面積之下可較矽晶圓太陽能電池大幅減少原料的用量(厚度可低於矽晶圓太陽能電池90%以上 ...瀏覽：430 -
![Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University]()
www.isu.edu.tw電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ...瀏覽：402
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日期：2024-07-27
半導體製程設備 技術 Semiconductor Technology-Process and Equipment 作 者 楊子明、鍾昌貴、沈志彥、李美儀、吳鴻佑、詹家瑋 出版社別 五南 出版日期 ......
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日期：2024-07-22
2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ......
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日期：2024-07-27
電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成 ... 非常活潑. • 增進化學反應速率. • 對蝕刻製程和CVD來說非常重要. 8. 電漿 蝕刻....
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日期：2024-07-26
本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ......
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日期：2024-07-28
物理雙月刊（廿八卷二期）2006 年4 月 440 電漿源原理與應用之介紹 文/張家豪，魏鴻文，翁政輝，柳克強 李安平，寇崇善 吳敏文，曾錦清，蔡文發，鄭國川 摘要 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程，成為現代科技的重要指標。...
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日期：2024-07-26
2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均. 核能研究所物理組. 1. 核能研究所物理組. TEL: 03-
4711400 ext.7440 mail: djjan@iner.gov.tw. Plasma Engineering ......
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日期：2024-07-22
電漿原理. 電漿態為物質除氣、液、固三態之外的第四態，主要是由一團帶正、負電荷 ... 在一個真空低壓系統的環境中，利用直流、交流、射頻電波或微波(microwave)的 ......
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日期：2024-07-27
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