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日期:2024-08-31
而本文中所介紹的 殘餘氣體分析儀,則是一種非常有用的工具之一。B> 在高科技爆炸的20 ... 舉例說,機台經過週期性清洗保養後,利用 RGA來取得真空室內殘餘氣體分佈,及建立完整的資料庫以便於日後比對。 除了可以立即發現真空異常現象外,更能馬上......
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日期:2024-08-29
首頁 公司簡介 最新消息 產品資訊 真空系統 維修保養 規格下載 聯絡我們 質量流量計 MFM & MFC 數位式質量流量計 ... Home 質譜 分析儀 XT100, XT200, XT300 Residual Gas Analyzer Includes......
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日期:2024-09-02
在本文中筆者將與您一同探討利用質譜的殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer)
在各個不同的積體電路製造過程中的應用方法。除了首先簡單介紹RGA操作原理及 ......
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日期:2024-08-30
The XT residual gas analyzer (RGA) from Extorr offers exceptional performance
and value. These RGAs provide a more detailed vacuum gas analysis than is ......
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日期:2024-09-01
第三章、 RGA的工作 原理 28 3-1、結構 分析 28 3-1-1、離子源 29 3-1-2、四質質譜管 30 3-1-3、離子量測器 32 3-2、偵測 ......
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日期:2024-09-01
了解真空系統中的漏氣現象與放電管原理,並學習如何利用放電管及測漏。 ... 三、 實驗原理 .... 殘留氣體分析儀(Residual gas analysis, RGA) 本身為一質譜儀,....
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日期:2024-08-30
2006年8月18日 - 但是根據我搜查到的資料它經由電壓離化後再經由質譜儀去分析,所以軟體上 ... RGA 是利用RGD (還原氣體探測器) 與FID(火焰離解探測器)原理....
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日期:2024-09-04
製程/ 殘留氣體分析儀 RGA 氦氣測漏儀 Leak Detector 膜厚量測 電源 油淨化裝置 油水分離器 位置:網站首頁 > 產品資訊 > 真空產品 > 製程/ ......