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![電漿 - 維基百科，自由的百科全書]()
zh.wikipedia.org電漿 （ Plasma ）是一種由 自由電子 和帶電 離子 為主要成分的物質形態，廣泛存在於 宇宙 中，常被視為是物質的第四態，被稱為電漿態，或者「超氣態」，也稱「電漿體」。電漿具有很高的 電導率 ，與 電磁場 存在極強的 耦合 作用。電漿是由 ...瀏覽：1243 -
![奈米球的乾式蝕刻 - 應用物理學系]()
ap.nuk.edu.tw一.實驗目的：氧電漿如何蝕刻有機材料 二.實驗儀器： 1.矽基板及500nm球溶液 2. 電漿機 3.微量滴管 4.原子力顯微鏡 三.實驗原理： 乾式蝕刻簡介 所謂的乾蝕刻，主要是利用電漿(Plasma)，而非濕式的溶液來對薄膜進行侵蝕的一種技術 ...瀏覽：851
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