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![半導體污染防治]()
www2.nsysu.edu.tw而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜，其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統，與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業，一些細微的環境或操作變動都有 ...瀏覽：564
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十一、水污染防治措施：指設置廢（污）水處理設施、納入污水下水 道系統、土壤處理、
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