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![電子束蒸鍍機1 （Electron Beam Evaporation 1） - 微奈米科技 ...]()
140.116.176.212003年6月12日 - 關於濺鍍部分，我們在磁控濺鍍機的操作原理中另外說. 明。接下來 ... 圖2-1 顯示一個簡易的真空蒸鍍機（Vacuum Evaporator）的示意圖。它主要是由 ...瀏覽：567 -
![物理蒸鍍之種類依蒸發源分類]()
www2.nkfust.edu.tw2005年4月6日 - 2. 依蒸發源分類. ▫ 真空蒸著(Evaporation) ... 電子槍蒸著法(E-Gun Evaporation). ▫ 中空陰極蒸著 ... 控制鍍膜組成與特性之蒸鍍製程，稱為. 離子鍍。 ▫ 離子鍍通常需於基材上施加負偏壓，以. 吸引離子之撞擊， ... 電子槍離子鍍原理.瀏覽：419
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熱 蒸鍍機 (Thermal Coater) 和電子束 蒸鍍 機 (E-beam 或 E- Gun Coater) 本公司目前所製造之高 真空電子束 蒸 ......
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PVD部 ：Thermal Evaporation System 熱阻式 蒸鍍機系統； E-Beam Gun Coater System ... 真空蒸鍍機 系統 超高 ......
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圖（二）為 蒸鍍機的坩鍋,圖（三）為整個 E- GUN 的結構示意圖 。 圖(二) 圖(三) 圖（四） 圖（四）為電子束電位 ......
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E- Gun 0.1 eV at 500oC 0.2 eV at 1265oC 3. 蒸發速度與靶材材質、靶材形狀、大小、腔體大小及電子束大小有關 ......
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電子束 蒸鍍機 之功能介紹 2010/4/20 2 膜厚計FIG.5 THICKNESS MONITOR / MAXTEK USA THICKNESS MONITOR ... 真 ......
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【 真空蒸鍍 設備】 真空蒸鍍是在抽成 真空的鐘狀腔室或不鏽鋼製成的封閉室 ... 為了得到更好的控制及低污染，發 ......
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2010年4月20日 - 真空設定點時其真空度燈號會熄滅，其用意是在要進行E-Gun蒸鍍製程時，腔. 體真空度須 ......
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