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  蒸鍍 - 維基百科，自由的百科全書
  
  蒸鍍(deposition），將金屬和酸化物等蒸發，使其於素材的表面附著形成一層薄膜的一種方法。蒸鍍可大略分為物理蒸鍍（PVD）與化學蒸鍍 (CVD)兩種。接下來以PVD的一種真空蒸鍍來說明。半導體器件製造有機金屬化學氣相沉積法電漿製程取自「 http ...
  
  2024-08-18
  
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  真空PVD濺鍍原理 - 厚昌真空科技有限公司濺鍍 PVD離子鍍膜
  
  PVD鍍膜（離子鍍膜）技術，其具體原理是在真空條件下，採用低氣壓、大電流的電弧放電技術，利用氣體放電使靶材蒸鍍並使被蒸物與氣體都產生電離，利用電子的加速作用，使被蒸鍍物及其反物沉積在工件上 ...
  
  2024-08-19
  
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