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日期:2024-09-07
... 能有效消除矽與氮化鎵之間的晶格不匹配度,並進而取代藍寶石基板與碳化矽基板,如此一來,可同時確保氮化鎵元件之品質與大幅降低製造成本,且根據本專利所製成之結構為:氮化鎵/氮碳化矽/矽基板。...