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www.tensky.com.tw謄騏國際股份有限公司專業於陶瓷結構,陶瓷精密加工,陶瓷零件具有散熱性佳、耐高溫與耐潮濕及絕緣等優點，為半導體產業的首選材料,及各大廠設備的首選材料。瀏覽：506 -
![大尺寸磊晶技術突破 GaN-on-Si基板破裂問題有解 - 學技術 - 新電子科技雜誌]()
www.mem.com.tw大尺寸矽基氮化鎵(GaN-on-Si)基板發展露曙光。工研院利用氮化鋁(AIN)緩衝層薄膜材料，以及氮化鋁鎵(AlGaN)/氮化鎵超晶格(Superlattices)低缺陷密度緩衝層技術，已成功製作出高品質且表面無破裂的矽基氮化鎵磊晶圓，讓該技術可望瀏覽：1244
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日期：2024-08-10
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管缺陷密度已經. 降到小於1cm-2，SiC 基板的主流尺寸. 也達到4 吋，6 吋的基板已 ......
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