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日期:2024-07-29
半導體製程污染源. • 微粒. – 來源:機器、包圍的空氣、氣體、 ... 可抑制金. 屬污染物
逆向吸著。 • 可利用超音波提高洗淨效果。...
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日期:2024-07-27
「Bamboo Generator… 摘要: 本文針對新開發成功的200ppm 以上超. 高灆度臭氧水製造設備的特點做—報導說. 明' 臭氧水的應用可以取代傳統的硫酸雙. 氧水清洗晶 ......
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日期:2024-08-02
SHADEN 臭氧水生成器(水龍頭專用) We688 - 淨水器-水龍頭型, SHADEN 臭氧水
生成器(水龍頭專用) We688....
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日期:2024-07-27
以臭氧超純水清洗晶圓表面之簡介及應用. 鄧宗禹、蔡明蒔. 毫微米元件實驗室. 一、前言. 超大型積體電路(VLSI, ULSI) 發展之關. 鍵製程需求之一為超純水之潔淨效果。...
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日期:2024-07-31
隨著半導體製程技術演進,由以往0.18微米至現今90奈米線寬,晶圓表面之污染物控制更為嚴苛,於晶圓清洗後要求於其表面快速形成氧化層,目前以高濃度臭氧水溼 ......
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日期:2024-07-26
"鄧宗禹、蔡明蒔/國家毫微米元件實驗室副研究員 超大型積體電路(VLSI,ULSI)發展之關鍵製程需求之一為超純水之潔淨效果。晶圓製程的每個步驟,包括蝕刻、氧化、 ......
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日期:2024-08-02
有此一說:最近常看到許多的廣告,說明用臭氧機清洗蔬果可以去除農殘留, 可以去除自來水的氯, ... 國病人接受臭氧治療時,可透過不同方法,包括直接飲用臭氧水....