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日期:2024-08-04
[PDF] 金屬薄膜與製程 2128k - Adobe PDF - 以html 格式查閱... (4)元件間連線 (Interconnect)。 隨著半導體生產技術的演進,積體電路設計與製造的最低線寬 ... 8-2-3-2-1 矽化物生成與氧化氣氛及氧化膜 ......
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日期:2024-08-04
本質應力是在薄膜成核與成長製程 期間產生的 異質應力則是因為薄膜與基片間的熱膨脹係數不同而 造成的 ... Microsoft PowerPoint - 半導體製程技術7 Author Administrator Created Date 5/7/2009 11:33:57 PM ......
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日期:2024-08-07
• 幫助控制PECVD製程中薄膜 的應力 − 較重的離子轟擊,薄膜受到的壓應力越大 反應式離子蝕刻(RIE ... Microsoft PowerPoint - 半導體製程技術6 Author Administrator Created Date 5/7/2009 11:32:06 PM ......
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日期:2024-08-07
1 壓電薄膜微加速度計之製程分析與設計最佳化 蕭志誠 余志成* 國立台灣科技大學 機械工程系 摘要 本文整合表面及立體微細加工技術,進行 壓電薄膜微加速度計之元件製作,並描述各個製 程參數,作為往後實作的依據,並針對薄膜的電...
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日期:2024-08-01
PVD鍍膜技術特性 薄膜製程(um ~ nm) 鍍膜溫度可從低溫至高溫(150oC~500oC) 降低磨擦係數(eg. DLC, ~0.1) 提昇表面硬度(eg. DLC, 15GPa~45GPa) 抗磨耗 抗氧化(eg. TiAlN, ~800oC) 耐腐蝕 yinyu@mdu.edu.tw 26 PVD鍍膜工件的準備要點 正確的模具設計及 ......
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日期:2024-08-05
薄膜技術----- <慨論> 日將公司鎖定在沸石膜(Zeolite Membrane)的分離技術, ... 滲透蒸發(Pervaporation)與蒸氣滲透(Vapor permeation)薄膜製程, 使用親水性薄膜達到兩種或 多種成分, 低分子量有機 – 水混合物的脫水, 這兩種製程在系統設計, 造價成本與操作 ......
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日期:2024-08-01
高產能CIGS薄膜之製程 薄化技術 Metal layers + post selenizationprocess (or evaporation) Non-vacuum processes 可撓性CIGS 太陽電池 可撓性Stainless steel foil & PI substrate 乾式製程buffer layer ZnSor ZnSe取代CdS 39 PV Economics -Productivity factors ......
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日期:2024-07-31
16 磁控濺鍍製程技術的特點 z成長速度快(磁控設計) z可大面積且均勻度高(治具設計) z附著性佳可改變薄膜應力 z金屬或絕緣材料均可鍍製(why and how?) z可鍍製合金材料 ......