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日期:2024-07-08
关键词微电子机锇系统薄膜体声波谐振器SMR结构悬空结构. Research Progress
... 薄膜体声波谐振器FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator). 是利用薄膜体声波 ......
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日期:2024-07-09
國立中山大學電機工程學系. 碩士論文. 以兩階段濺鍍法沉積氧化鋅壓電薄膜. 於薄膜 體聲波共振器之應用. The Study of ZnO Piezoelectric Thin Film Prepared by....
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日期:2024-07-09
薄膜体声波谐振器,其英文全称是Film Bulk Acoustic Resonator,缩写为FBAR。不同于以前的滤波器,是使用硅底板、借助MEMS技术以及薄膜技术而制造出来的。...
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日期:2024-07-08
本論文使用射頻磁控濺鍍法沉積氧化鋅薄膜,並將其應用於薄膜塊體聲波諧振器之製作上,薄膜塊體聲波諧振器是一個多層結構的元件,其包含上下電極,夾一層氧化 ......