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    薄膜体声波谐振器的研究进展
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    日期：2024-07-11
    关键词微电子机锇系统薄膜体声波谐振器ＳＭＲ结构悬空结构. Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｐｒｏｇｒｅｓｓ ... 薄膜体声波谐振器ＦＢＡＲ（Ｆｉｌｍ Ｂｕｌｋ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）. 是利用薄膜体声波 ......
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    薄膜体声波谐振器（FBAR）谐振特性的模拟分析
    瀏覽：1023
    日期：2024-07-08
    薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析，分别就不同压电层材料和厚度以及 ... 关键词：薄膜体声波谐振器（ＦＢＡＲ）；Ｍａｓｏｎ等效电路模型；微波振荡器；双工器； ......
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    單層電極薄膜體聲波諧振器結構及其制造方法 - 中國專利
    瀏覽：1362
    日期：2024-07-09
    性能高，微型化，易于與標準集成電路工藝兼容的諧振器受到廣泛關注。薄膜體聲波 諧振器(FBAR)相比較介質濾波器和聲表面波（SAW)濾波器等具有頻率高、體積小、 ......
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    一種空腔型薄膜體聲波諧振器(fbar)的制作方法 - 中國專利
    瀏覽：1492
    日期：2024-07-09
    【專利名稱】一種空腔型薄膜體聲波諧振器(fbar)的制作方法【專利摘要】本發明涉及 一種空腔型薄膜體聲波諧振器，包括一種帶空腔SOI基片和設置其上的壓電薄膜換能 器 ......
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