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![半導體科技新聞 - 銅導線阻障層 - Semicondutor News, Science and Technology]()
ssttpro.acesuppliers.comChangsup Ryu, Haebum Lee, Kee-Won Kwon, Alvin L.S. Loke, S. Simon WongB> Standford University, Stanford, ...瀏覽：1384 -
![奈米通訊。第六卷第四期 30.銅製程之擴散阻障層]()
www.ndl.org.tw銅製程之擴散 阻障層 吳文發1、黃麒峰2 1國家奈米元件實驗室副研究員、2清華大學材料研究所碩士班研究生 前言 積體電路的製作技術已邁入ULSI (ultralarge-scale ...瀏覽：1259
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23 第 九 卷 第 三 期 奈 米 通 訊 四、結論 氮氣電漿處理的Ta擴散 阻障層 ( Ta N x/ Ta ) ，具有比Ta薄膜較低的電阻值及較佳的 ......
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親民技術學院研發報導--用於無 阻障層之先進銅金屬化製程 林宗新 1 朱瑾 2 1 ： 親民技術學院生物技術系 2 ： 國立台灣科技大學高分子工程系 摘要 ......
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