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![「離子植入法+退火處理法」。]()
www.ccut.edu.tw這些元素藉由熱擴散法或離子植入法摻入矽中，目前以離子植入法為主流。 雜質摻入 .... 絕緣層的產生，也就是氧的植入等，需要使用高能量離子植入機。此外，源極/汲 ...瀏覽：728 -
![3-17摻雜技術(Doping technology) - 科技台灣]()
hightech.nccu.edu.tw2012年8月4日 - 圖3-24＞ 離子佈植機的構造與原理。 【實例】 請使用「離子佈植摻雜」，在P型矽基板的左右各製作一個N型的區域。 〔解〕 在矽晶圓中摻雜少量的5A族 ...瀏覽：932
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2010年11月3日 - 離子植入機工作原理Prepare By : Randy Huang 課程內容1. Process Instruction 2. Beam Generation 3. Transfer System 4. Safety CMOS CMOS ?...
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2008年7月10日 - 半導體製程中, 離子植入機(Ion Implantater)介紹的相關書籍, 目前我只 ... 接著就可以去了解他的製程原理了, 再進階就是了解各製程條件對元件有何 ......
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在所有半導體元件中，離子植入是電晶體結構中一項相當重要的技術。在離子植入 過程中， .... 離子佈植原理是將所需的注入元素電離成正離子，並使其獲得所需的量， 以很快的速度射入晶片的技術。 離子佈植之後會 ... 圖七 離子佈植機. 圖八 氧化擴散爐 ......
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