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![行業製程減廢及污染防治技術－半導體業介紹]()
ebooks.lib.ntu.edu.tw環保技術輔導計畫 晶圓初成品 清洗 氯化爐 第一層光罩 擴散爐 第二層光罩 氧化爐 第三層光罩 濺鍍機 第四層光罩 晶圓成品 (初步氧化) (P 區光阻、蝕 刻、清洗) (擴散、離子植 入) (閘區及接點區 光阻、蝕刻、瀏覽：722 -
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eshare.stust.edu.tw第一部份前言介紹擴散製程在晶圓製造中所扮演的角色。 第二部份是 ... 第三部份則是敘述清洗、爐管、離子植入等各類製程及設備。 .... 其晶圓乾燥是利用伯努利原理。瀏覽：588
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日期：2024-07-30
本文所要探索的就是以高質量分子植入（High Mass Molecular Implant）及. 低溫植入
（Cold .... 到以BF2 離子植入來增加離子佈植機的產能。然而氟. 原子不是摻雜 ......
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日期：2024-08-02
多年來，離子植入設備供應商主要在產能與擁有成本的差異上進行競爭，邁入32奈米
... 圖一顯示了PTC-II製程與傳統“非晶化前植入製程”(pre-amorphization implant, ...
式植入製程不能執行真正的零度植入，這也驅動了單晶圓高能量離子植入機(single ......
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日期：2024-08-01
離子佈植是：離子佈植就是利用電場，將游離的原 ... 例，從離子的產生開始，到植入矽晶圓基板（substrate） .... 不要忘了它還能控制入射角，總而言之，離子佈植機....
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日期：2024-08-02
15. 離子佈植機示意圖. 氣體匱. 離子源. 真空幫浦. 真空幫浦. 電機系統. 電機系統.
磁場分. 析儀. 離子束. 終端分析儀. 晶圓. 電漿. 16. 離子佈植: 射束線系統. • 離子源....
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日期：2024-07-30
Turbo Pump; Welded Bellows; Source Bushing; RGA; Gauge Controller; RTP Lamp; Partical Trap; Chiller; Bushing;Overhaul; Aixtron;Tungsten (鎢);Molybdenum (鉬);Tantalum(鉭)TZM(鉬合金);Graphite(石墨);BN(氮化硼);Service(服務);Standard Parts (標準品 ......
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日期：2024-07-29
因應國際環保趨勢，並協助產業污染改善工作 ... 發表時間：2009/8/6 發表人： 回覆人： 工廠屬光電產業，其LED製程廢水之COD值無法符合放流水管制標準(400mg/L)，請問應 ......
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日期：2024-07-30
在搭配新的功能之後，離子植入已非單單只是一項商品，而是具有更強的製程能力。
事實上，半導體製造商的下一代元件生產 ......
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日期：2024-07-31
擴散製程. 沈積和驅入(drive-in). 離子植入機. 接合界面(junction). 將充滿負電荷
的區域(N型區) 和充滿電洞的區域(P型 ......
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