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電子束缺陷檢測機的相關公司資訊
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日期:2024-07-08
公司主要提供電子束(e-beam)掃描檢測設備,為晶圓廠檢測晶圓缺陷。缺陷檢測技術 包括暗場、明場及電子束,進入90奈米世代後,傳統光學檢測技術(暗場、明場)遭遇 ......
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日期:2024-07-08
1x奈米製程將引燃晶圓缺陷檢測技術新戰火。 ... 形成三面立體結構,使得傳統光學 檢測掃描失敗率大增,須搭配解析度更高的電子束檢測機台,才能補強晶圓缺陷檢測  ......
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日期:2024-07-11
1x奈米製程將引燃晶圓缺陷檢測技術新戰火。光學檢測囿於解析度限制,已無法滿足 1x奈米晶圓驗證要求,遂使得新一代電子束技術快速嶄露頭角;不過,現階段電子束 ......
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日期:2024-07-11
子束製程監控系統等機台設備。電子束. 檢測設備需整合電子束及影像應用等科 ... 功 開發出第一台「電子束缺陷檢測設備 ... 戶所設置之電子束檢測設備機台數量推....
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日期:2024-07-07
缺陷檢測技術主要有暗場(Dark Field)、明場(Bright Field)和電子束(e-Beam)檢查。 電子束檢測以聚焦電子束作為檢測源,靈敏度最高,但是檢測速度最慢,價格最高。...
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日期:2024-07-09
2014年5月26日 ... 半導體設備大廠美商科磊(KLA Tencor)總裁暨執行長Rick Wallace表示,雖然近幾 年電子束缺陷檢測設備需求不錯,但由各半導體大廠的先進製程 ......
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日期:2024-07-08
2015年1月30日 ... 隨著採用I 設備協助, 以順利調整製程參數, 拉高成品缺生產良率往往更為偏低, 急需先進電子束檢測此更容易生產出有缺陷的瑕疵產品, 工廠產線 ......
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日期:2024-07-14
一. 儀器名稱. *中文名稱: 電子束晶圓缺陷檢測設備. *英文名稱:E-beam inspection tool. *英文簡稱: eScan310. 二. 儀器廠牌、型號、購置年限. 廠牌: HMI. 型號: ......