search:電漿反應器相關網頁資料

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日期:2024-09-23
9 CVD應用 薄膜 源材料 Si (多晶) SiH 4 (矽烷) 半導體 SiCl 2H 2 (二氯矽烷;DCS) Si (磊晶) SiCl 3H (三氯矽烷;TCS) SiCl 4 (四氯矽烷;Siltet) LPCVD SiH 4, O 2 SiO 2 (玻璃) PECVD SiH 4, N O 介電質 PECVD Si(OC 2H 5) 4 (四乙氧基矽 ......
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日期:2024-09-26
http://www.materialsnet.com.tw 92年9 月 201期 工業材料雜誌 117 檢測技術在奈米科技之應用專題 感應耦合電漿質譜儀在材料 分析的應用 作者:李珠 現職:工研院材料所微結構與特性分析實驗室副研究員...
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日期:2024-09-27
2013年9月10日 - 實際存在的原子核反應爐像是一顆附有超大變壓器的甜甜圈── 托卡馬克(Tokamak)! ... credit: CC by Dstrozzi@wiki , 加熱電漿的主要目的是增加 ......
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日期:2024-09-21
2014年2月10日 ... 化學家與工程師將特定氣體或蒸氣組合引進電漿反應器。液體與氣體流動分別利用 質量流量控制器來調節。通常僅需適量物質就能完全暴露表面。...
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日期:2024-09-23
用於CO2 減量之技術,但因反應溫度較高. 已漸漸被汰換;進而這幾年有些研究人員. 運用RF 及Microwave 電漿反應器進行. CO2 分解研究(1,2)。 二氧化碳氣經水汽電 ......
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日期:2024-09-23
核研所物理組電漿表面改質實驗室. 蔡文發 ... 電漿是物質除了固態、液態、氣態之外 的第四態,氣體持續加. 熱,分子分解為 .... 核融合反應器, 讓鋰發生核變化而獲得。...
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日期:2024-09-27
本研究以低溫微波電漿反應器探討加入不同比例的添加氣體對於全. 氟化物( Perfluorinated ... 實驗中使用自行設計之微波電漿反應器,以CF4 為模式氣體,配合 多....
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日期:2024-09-22
8. 圖3 電漿反應器實體照片. 二、 觸媒物性分析. 為了解觸媒經電漿改質前後物性的 差異,本研究利用場發射掃. 描式電子顯微鏡(FE-SEM)觀察觸媒表面型態的變化;X  ......