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日期:2024-12-13
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日期:2024-12-17
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日期:2024-12-20
本文先對電漿現象及原理作概述,再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異,而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%,近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛, 如 ......
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日期:2024-12-13
2011年5月20日 ... 目前電漿技術已廣泛應用於各產業上,如:光電與半導體產 ... 漿技術之原理、發展與
應用做一深入探討。 電漿簡介. 電漿態(plasma)是人類繼固、液、 ......
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日期:2024-12-18
2010年4月2日 ... Valve. Pump. DC. Power. 解離反應 e-+X. 2. 2X+e-. 激發反應 e-+X. X*+e-. 離子化
反應e-+X. 2. X. 2. ++2e- e-+X. 2. 2X++3e-. 電漿原理介紹 ......
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日期:2024-12-16
在實際操作上為了提高清潔效果必需提高電漿系統的壓力。 圖2-2:大氣電漿示意 2-2 大氣電漿設備原理[2] 氧氣經由電漿解離,會產生大量的自由基粒子(如下式),這些 ......
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日期:2024-12-16
訊息 More> 2013-09-03 2013台灣半導體設... 2013-08-23 TPCA Show ... 2013-05-23 緯利公司正式取得Gu... 2013-01-15 原廠名稱變更公告... 熱門產品 More> FT-9500 MedaScope 桌上型 X-Ray 影像檢測設備 RTX X-Ray 影像檢測設備 奈米/真空/高溫/微米摩擦磨損 ......