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![電漿處理基本原理]()
www.thhs.ntpc.edu.tw廣義而言，電漿是指一發光的、電中性(electrically neutral)的離子氣團，在這氣團中 ... 電漿蝕刻主要應用於清除表面污染物，具有清潔之功效；並且造成基材表面氧化、 ...瀏覽：550
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3.1 電漿清洗原理. 11. 3.2 電漿產生方法. 12. 3.3 電漿清洗系統介紹. 13. 第四章電漿
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电浆清洗机的基本原理及应用等离子体化学是20 世纪六十年代发展起来的一门新兴
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