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日期:2024-07-10
準分子雷射 而用於產生所需波長的光源是準分子(excimer)氣體雷射,並導入含有鹵素和惰性氣體的混合氣體。氪氟(KrF)準分子雷射可發射出 248nm 波長的光源,而氬氟(ArF)雷射則可產生 193nm 的光子。...
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日期:2024-07-12
而波長在380nm~780nm之間電磁波的光是眼睛感覺得到的光,這一部份的光稱為 ... 其中,在黃光區中,因為此區主要進行照相顯影縮小的製程,故又稱為微影製程。...
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日期:2024-07-10
如題目所說,小弟要做半導體作業,請各位好心的大大告訴我為甚麼光阻的製程一定要在黃光區呢??小弟記得是因為白光的波長會影響光阻,但是黃光不會,那麼請問白光 ......
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日期:2024-07-07
會使用黃光的原因, 主要有兩個: 1. 波長較長, 能量較小對光阻反應較差. 至於你會問為什麼不用波長最長的紅光. 2. 因為人的眼睛對於紅色的光, 感覺會比較刺激....
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日期:2024-07-10
藥品櫃. 微電鑄槽. RIE. ▫ 黃光室等級class. 5000. > 光阻塗佈. > 光罩對準曝光. > 加熱烤版. > 顯影 .... 常用於學校). >I-line 波長365 nm(常用於0.35微米的IC製程中) ......
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日期:2024-07-07
2008年2月5日 - 至於光源的波長, 波長越低能量越高, 所以為了減短曝光時間增加throughput : : 會以更短波長的光來當光源, 所以目前70nm製程技術用193nm波長的 ......
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日期:2024-07-11
微影製程. 製造微米級零件之主要製程. 矽基製程:源至積體電路製程,其優勢為矽及其 ... 北區微機電中心平面圖; 黃光區class 1000 ... 不同光阻對光波長的敏感度....