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![雷射橢圓儀及深紫外線反射測量儀在氮氧化矽抗反射層材料之應用]()
ssttpro.acesuppliers.com抗反射層(ARC)的應用對高階之微影製程，是一種相當關鍵的製程方法，其可藉由 減少或消除那些來自表面，或底層會導致光 ...瀏覽：1121
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日期：2024-07-20
主題, 抗反射膜(Anti- reflection Coatings, ARCs) 之介紹(一). 內容 ... 光入射物體時，
會產生三種現象—穿透、吸收、反射，....
瀏覽：530
日期：2024-07-13
2.2 抗反射層技術(Anti-Reflection Coating , ARC).......16. 2.2.1 光反射引起效應之
說明..............................................16....
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日期：2024-07-15
薄膜也可以塗上抗反射材質來提供適當的抗反射特性，抗反射塗佈的製程也可以使用
旋轉式塗佈或利用 ... 在pellicle上的抗反射塗層(Anti-reflective coating (ARC))可以
改善整個薄膜的透光率及均勻度，也使透 ......
瀏覽：638
日期：2024-07-20
... 這種可謂黯淡無光的問題，於是需要抗反射膜（Anti-Reflection Coating）， 經過
ARC處理的光學系統， ... 在單層抗反射膜的部份，SiO2和Si3N4在λ/4的最低反射率
分別為4.76 %、0.34 %，其將拋光的矽晶片 ......
瀏覽：1379
日期：2024-07-13
經過ARC處理的光學系統，不但可以提高穿透率，降低眩光，同時也大大減少光在
元件間連續反射的量，使影像明晰度增加。 .... 以下所討論的單層抗反射膜，乃至於
多層抗反射膜設計，均是針對可見光區。...
瀏覽：1247
日期：2024-07-13
加熱. • 需要好的階梯覆蓋、高沈積速率、良好的似型. 性及應力控制. 10. 介電質抗
反射層鍍膜 t. 2. 1. 鋁合金. 介電質ARC, n, k....
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日期：2024-07-14
4. 介電質抗反射層鍍膜(ARC) t. 2. 1. 鋁合金. 介電質ARC, n, k. 紫外線(λ). 光阻. ∆φ =
2nt = λ/2. ARC: Anti-reflection Coating....
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