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日期:2024-07-26
半導體製程設備 技術 Semiconductor Technology-Process and Equipment 作 者 楊子明、鍾昌貴、沈志彥、李美儀、吳鴻佑、詹家瑋 出版社別 五南 出版日期 ......
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日期:2024-07-26
2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ......
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日期:2024-07-25
本文先對電漿現象及原理作概述,再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異,而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%,近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛, 如 ......
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日期:2024-07-28
物理雙月刊(廿八卷二期)2006 年4 月 440 電漿源原理與應用之介紹 文/張家豪,魏鴻文,翁政輝,柳克強 李安平,寇崇善 吳敏文,曾錦清,蔡文發,鄭國川 摘要 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程,成為現代科技的重要指標。...
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日期:2024-07-25
2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均. 核能研究所物理組. 1. 核能研究所物理組. TEL: 03-
4711400 ext.7440 mail: djjan@iner.gov.tw. Plasma Engineering ......
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日期:2024-07-25
2010年4月2日 ... Valve. Pump. DC. Power. 解離反應 e-+X. 2. 2X+e-. 激發反應 e-+X. X*+e-. 離子化
反應e-+X. 2. X. 2. ++2e- e-+X. 2. 2X++3e-. 電漿原理介紹 ......
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日期:2024-07-22
本文以感應耦合電漿質譜儀的原理構造、分析特性和在材料分析上的應. 用作一簡介
。 關鍵詞:微量元素分析(Trace Metals ......
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日期:2024-07-22
另外在半導封裝及紡織業方面,則使用電漿來清潔及改變材料表面以達到特殊的功能
及效果。在環保方面,電漿火炬可以安全固化焚化爐所產生之高污染灰渣。甚至在 ......