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  電漿源原理與應用之介紹
  
  面，則使用電漿來清潔及改變材料表面以達到特殊的. 功能及效果。在環保方面,電漿 ... 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之. 一次側(primary)，而電漿則 ...
  
  2024-07-29
  
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- www.materialsnet.com.tw
  
  感應耦合電漿質譜儀技術及其在材料分析上的應用
  
  http://www.materialsnet.com.tw 91年1 月 181期工業材料雜誌 91 材料分析技術專題 ter 形成（圖五）(8)，使用高解析度感應耦合電漿質譜儀可予分離。來自無機酸的背景離子（表二）－可用其他酸類替代或用不同的樣品前處理方
  
  2024-07-24
  
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投影片 1 - 中州科技大學Chung Chou University of Science and Technology

日期：2024-07-25

薄膜沉積技術半導體製程中所稱的薄膜，是指厚度在1μm以下的膜。例如層間絕緣膜或是電極金屬等。薄膜沉積技術是由外界提供材料來累積在矽基板上的技術。由於是外來的沉積，即有發生污染的可能，一直以來令人擔心是否會影響高純度矽基板 ......

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蝕刻(Etching)

日期：2024-07-26

9 乾式蝕刻的原理乾式蝕刻是以電漿，而非濕式的溶液，來進行薄膜蝕刻的一種技術。乾蝕刻的優點為非等向性蝕刻。乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行，這種粒子轟擊的現象，不但可以在被蝕刻的薄膜上進行，...

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Dry Etch 各站製程原理 - NEW JEIN INDUSTRIAL CO, LTD

日期：2024-07-25

Application on 5 PEP (BCE) •Consist of plasma 電漿其實是由諸多離子、電子、分子及原子團(radicals) 所組成且電性為中性的部分離子化氣體。全部分子、原子都解離成離子和電子的狀態稱為完全解離電漿，而RIE/PE/ICP為弱解離；RIE/PE的解離率約0.01%而...

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大立光电复合材料(上海)有限公司

日期：2024-07-22

台灣真空業創史元老級企業，倉始于1968年曆經四十年以上從代工到自主研發真空鍍膜機，爲真空業界領導地位，長年和美國日本 ... 概要：在濺鍍的製程上，電漿的產生是不可或缺的，由於電漿的作用下，製程得以進行。詳細>>...

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博碩士論文 etd-1114108-134430 詳細資訊

日期：2024-07-25

姓名林欽山 (ching-shan Lin) 電子信箱 ceramic_samlin@yahoo.com.tw 學號 D9314001 論文著作權作者與指導教授共同擁有系所名稱(中) 材料科技研究所系所名稱(英) Graduate School of Materials Science and Technology 學年度 / 學期 97學年度第1學期...

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