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![Chapter 7 電漿的基礎原理]()
www.isu.edu.tw2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ...瀏覽：1399 -
![第五章電漿基礎原理]()
homepage.ntu.edu.tw電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成 ... 非常活潑. • 增進化學反應速率. • 對蝕刻製程和CVD來說非常重要. 8. 電漿 蝕刻.瀏覽：1436
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人類生活中隨處存在電漿(Plasma)蹤影和應用，舉凡閃電、極光、電漿顯示器和霓虹燈…等都是電漿的行為呈現。電漿原理的了解和其特性之應用在近期是很熱門的 ......
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