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www.junsun.com.tw什麼是PECVD？ 電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並沒有太大差異。PECVD是使用電漿中化學活性較高的離子與自由 ...瀏覽：1051 -
![化學氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司]()
www.junsun.com.tw電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並沒有太大差異。PECVD是使用電漿中化學活性較高的離子與自由基等高能物種來 ...瀏覽：329
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日期：2024-07-14
本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ......
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日期：2024-07-10
不同DLC設備成膜方法比較. 成膜原理. 陰極電弧法. 電漿化學氣相沈積非平衡磁控濺鍍. ARC. Plasma CVD. UBMS. 成膜原料. 固體碳. C2H2 (氣體). 固體碳. 成膜溫度....
![CVD 製程原理與應用 (捷胤工業).ppt [相容模式]](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_48.jpeg)
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日期：2024-07-09
CVD 原理 (a)反應物以擴散通過介面邊界層。(b)反應物吸附在晶片表面。(c)化學沉積反應發生。(d)部份生成物藉擴散通過介面邊界層。(e)部分生成物與未反應物進入主氣流裡，並離開系統。捷胤工業有限公司...
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日期：2024-07-14
請問各位大大!! 1.PECVD 和 RIE電漿原理為何? 2.PECVD 和 PIE 的中文意思為何?例如p代表什麼等等…請各位大大救救我!!越詳細越好^^謝謝大大分享知識!...
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日期：2024-07-13
化學氣相沉積（英語：Chemical Vapor Deposition，簡稱CVD）是一種用來產生純度高、效能好的固態材料的化學技術。半導體產業使用此技術來成長薄膜。典型的CVD製程是將晶圓（基底）暴露在一種或多種不同的前驅物下，在基底表面發生化學反應或/及化學分解 ......
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日期：2024-07-10
Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet. 半導體製程上的應用a.氮化矽膜 SiN Si3N4 在半導體製程中是很好的擴散阻擋層(Diffusion Bar...
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日期：2024-07-11
可能是利用電漿（plasma），那就叫PECVD（plamsa enhanced CVD），或者用加熱的方式（Thermal CVD），若可以快速升降溫，那就是RTCVD（Rapid Thermal ......
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日期：2024-07-09
2013年9月16日 - Keywords: 化學氣相沉積;電漿;薄膜厚度;陽極處理 ... 發生的主因及改善方法，討論PECVD RF 之作用原理，Heater Top Plate 受電漿蝕刻離子轟擊, ......
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