search:rf 電漿原理相關網頁資料

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  電漿反應器與原理
  
  本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛，如 ...
  
  2024-08-27
  
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  電漿工程原理與應用
  
  2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均. 核能研究所物理組. 1. 核能研究所物理組. TEL: 03- 4711400 ext.7440 mail: djjan@iner.gov.tw. Plasma Engineering ...
  
  2024-08-23
  
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Plasma

日期：2024-08-24

2010年4月2日 ... Valve. Pump. DC. Power. 解離反應 e-+X. 2. 2X+e-. 激發反應 e-+X. X*+e-. 離子化反應e-+X. 2. X. 2. ++2e- e-+X. 2. 2X++3e-. 電漿原理介紹 ......

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電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China

日期：2024-08-20

物理雙月刊（廿八卷二期）2006 年4 月 441 環繞電流方向的時變磁場 (B)，此磁場穿透介電窗，於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場 (E)，此電場加速電子並感應形成電漿電流 (Jp)。由於此電磁感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之...

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一 - 台灣大學化學系

日期：2024-08-21

另外, 在產生電漿的技術, 需利用到所所謂的 RF 磁控反應濺鍍系統 (RF Magnetron Reactive Sputtering), 此系統結合了高頻 (RF 約為 ... PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 電漿增強式化學氣相沈積法: 如同在 CVD 的原理部分所論, 是利用 ......

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電漿原理 - 豆丁网

日期：2024-08-23

... 、電暈放電法 (Corona Discharge)、微波法(Microwave)、高週波電漿(Radio Frequency, RF)、介電質放電法(Dielectric Barrier ... 電漿原理 6 電漿原理-2 若電子與氣體分子進行非彈性碰撞，則電子的動能幾乎百分之百轉移成氣體分子的內能，此能量若足夠 ......

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