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![Electronic Circuits Lab-Publications - 台大電機系計算機中心]()
cc.ee.ntu.edu.twSubject / 研究主題 Author / 作者 Professor / 指導教授 Date / 日期 6 "The Realization of Audio Analog Memory Using Pulse Width Modulation Technique" "使用波寬調變技術的音頻類比記憶體之製作" 林育瑋 Hen-Wai Tsao 曹恆偉教授 Shen-Iuan Liu瀏覽：1147 -
![PE - 財團法人光電科技工業協進會]()
www.pida.org.tw成，本篇報導主要分為四個部分，. 基於電漿對乾蝕刻製程之重要性，. 首先對電漿作基礎介紹，後續再針. 對乾蝕刻原理，蝕刻機台，乾蝕刻. 化學及製程控制作詳細介紹 ...瀏覽：343
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日期：2024-07-29
3 Deposition Techniques Epitaxy ¾VPE, LPE, MBE Physical Vapor Deposition (PVD) ¾evaporator, sputter Chemical Vapor Deposition (CVD) ¾APCVD, SACVD, LPCVD, PECVD, HDPCVD, UHVCVD, MOCVD, photon-enhanced CVD, Jet Vapor Deposition ......
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日期：2024-07-28
蝕刻技術 (Etching Technology) 1. 前言 蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。 蝕刻技術可以分為『濕蝕刻』(wet etching)及『乾蝕刻』(dry etching)兩類。在濕蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的，而乾 ......
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日期：2024-07-27
事實上，半導體設備商可以脈衝電漿和較低的偏壓頻率，降低深度負載效應。圖3顯示在2MHz固定偏壓功率的操作條件下，以連續波狀式電漿或脈衝電漿進行STI蝕刻的溝槽結構。採用高離子能量搭配較低偏壓頻率(2MHz)的作法，可減少單位晶胞內的 ......
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日期：2024-07-22
低真空可變壓掃描式電子顯微鏡 SU3500 Hitachi Scanning Electron Microscope SU3500 新款電子槍偏壓及影像處理系統，對焦快速、容易 新型可變真空偵測器（選購）：提升低真空的感度 新型即時立體影像功能（選購）：不需傾斜樣品即可取得立體影像觀察...
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日期：2024-07-28
頻率為13.56MHz 絕緣靶材上因自我偏壓效應形成直流補償負電位，吸引電漿中. 的
正離子轟擊靶材，使的靶材 ... 鍍膜結束後關閉RF power、主閥，打開真空腔取出鍍好
之基板。 問題與討論：. 1. 鍍膜時為何要 ......
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日期：2024-07-26
Abstract: 隨著製程技術的演進，電漿在半導體IC上的應用，趨向以高密度、大面積 ...
螺旋感應線圈，外接匹配網路至射頻電源供應器上，RF射頻功率則採用13.56MHz。
... 產生自我直流偏壓和吸附力，冷卻系統則以氦氣及純水對晶片進行熱移除的動作。...
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日期：2024-07-27
圖2.7 RF 濺鍍系統直流自我偏壓………………………………………...21 ..... 電漿
產生之直流自我偏壓(D.C self-bias)值約. 2....
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日期：2024-07-24
一負偏壓(VB)時，使濺鍍系統的電位分布改變(電漿電壓Vp、基板偏壓VB、. 靶材電壓
VT，見圖2-3) ... 2-5.4 射頻濺鍍(RF sputtering) ... 電容時，壓降落在靶電極上，形成
自我偏壓(self-bias)促進靶材濺鍍效率，....
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