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日期:2024-09-09
殘餘氣體分析儀( Residual Gas Analyzer, RGA)是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具,廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫附(thermal......
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日期:2024-09-14
而本文中所介紹的 殘餘氣體分析儀,則是一種非常有用的工具之一。B> 在高科技爆炸的20 ... 舉例說,機台經過週期性清洗保養後,利用 RGA來取得真空室內殘餘氣體分佈,及建立完整的資料庫以便於日後比對。 除了可以立即發現真空異常現象外,更能馬上......
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日期:2024-09-07
殘餘氣體分析儀 產品資訊> 殘餘氣體分析儀 該類別下沒有產品 COPYRIGHT © 2007 TRIGGER TECHNOLOGY INC. ALL RIGHTS RESERVED. 笙瑞科技股份有限公司版權所有 地址:30264新竹縣竹北市嘉興路386號1樓 TEL:+886 3-658-5508 FAX......
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日期:2024-09-07
首頁 公司簡介 最新消息 產品資訊 真空系統 維修保養 規格下載 聯絡我們 質量流量計 MFM & MFC 數位式質量流量計 ... Home 質譜 分析儀 XT100, XT200, XT300 Residual Gas Analyzer Includes......
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日期:2024-09-10
RGA殘餘氣體分析儀,氣體分析儀,是質譜儀的一種,可連續監控製造過程所產生的 污染氣體,並檢驗目標過程氣體的含量,分析應用於真空檢測,漏氣檢測,...
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日期:2024-09-14
RGA殘餘氣體分析儀,氣體分析儀,是質譜儀的一種,可連續監控製造過程所產生的 污染氣體,並檢驗目標過程氣體的含量,分析應用於真空檢測,漏氣檢測,...
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日期:2024-09-08
可結合TPD、TPR等分析或其他過程. 進行尾氣中氣體成分的分析。 二、 實驗設備:. 殘餘的氣體分析儀(RGA) 被使用在真空. 研究應用將近25 年。他們的角色在最近十 ......
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日期:2024-09-13
在本文中筆者將與您一同探討利用質譜的殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer) 在各個不同的積體電路製造過程中的應用方法。除了首先簡單介紹RGA操作原理及 ......