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![掃瞄式電子顯微鏡(SEM)]()
www.google.com.tw號為JSM-6500F。其主要構造示意圖如圖2. 掃瞄式電子顯微鏡主要是來觀察物體. 的 表面型態，其試片製作較簡單，解析度. 可達奈米尺度且景深長，在觀察材料表面.瀏覽：586 -
![嘉富億科技股份有限公司]()
www.garefully.com1.何謂EDS? Ans︰EDS為能量散射光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer)的簡稱，主要利用電子束所激發的特性X光來進行待測樣品的定性或半定量化學成份分析。 2.EDS的原理? Ans︰當原子的內層電子受到外來能量源 (如：電子束、離子束或者光源等) 的激發而 ...瀏覽：559
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掃瞄式電子顯微鏡及能量散佈光. 譜儀原理與奈米科技應用. SEM/EDS Technology
and Its. Special Applications in Nano. Field. 張銀祐. 2007/8/22 ......
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