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何謂微機電系統??? - Yahoo!奇摩知識+
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日期:2024-07-01
何謂微機電系統?它的優點是什麼?比較它與半導體積體電路(IC)特性的差別。~~~知道的人告訴我吧~~ ... 微機電系統(micro electrical mechanic system, MEMS)與半導體積體電路(IC) 因為體積都很小,所以都是用 "半導體製程" 製作出來的裝置...看更多