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何謂射頻濺鍍? - Yahoo!奇摩知識+
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日期:2024-07-26
射頻磁控濺鍍機(RF magnetron Sputter)是一種薄膜製程的儀器,可適用於電機、
機械、電子、光學、材料等研究領域。射頻磁控濺鍍機其基本原理乃根據離子濺射 ......看更多