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NTNU MNOEMS Lab. 國立台灣師範大學機電科技學系微奈米光機電系統實驗室
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日期：2024-07-21
微奈米光機電系統實驗室位於國立台灣師範大學科技與工程學院機械大樓。實驗室為一10000等級之無塵室，面積共計90平方公尺，其內除更衣室與機電房外，還分為處理光阻微影製程的黃光製程實驗室，微奈米真空電漿蝕刻、溼式化學蝕刻加工、大氣電漿 ......看更多
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