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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 微影顯像：EUV的替代品會是什麼？ - Semicondutor Magazine
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日期：2024-07-07
最近眾人對EUV的信心提高了，因為IBM發表報告，稱其在Albany的EUV Center of Excellence將40W光源安裝在ASML NXE3300B掃描儀上並且得到不錯的成果。在中焦段區測量的結果顯示此升級獲得比44W EUV光源更好的投射特性，並且已經在晶片上以光阻驗證 ......看更多
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