佳霖科技股份有限公司

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日期:2024-07-08
Planetary Reactor® AIX G5 HT 1.採用最新獨特的High growth rate injector設計,可以大幅增加磊晶的成長速率 2.在反應室內使用石墨ceiling (Graphite ceiling),可達到零微粒的產生(Zero particle generation) 3.利用最新設計的EqiSat,可個別獨立控制satellite disk的轉速, 以 ......看更多