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拋光原理 - 豆丁网
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日期：2024-09-29
更進一步，也已在開發一般碟狀研磨方式， 展開EEM微粒子彈性衝撞原理的浮動拋光或 非接觸拋光。 化學機械式拋光為研磨液的化學腐蝕作用 與磨粒的機械式切削作用之複合方法。 現在幾乎所有生產矽晶片的工程，均採用 這種方法。 去除表面生成物 ......看更多
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