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日期：2024-08-06
3 高溫製程 快速高溫處理（RTP：RapidThermalProcessing）為電晶體與電 容成形過程中重要的步驟之一，可用來修正薄膜性質與製程結果。多晶矽（poly）通常用來形容半導體電晶體之部分結構：至於 在某些半導體元件上常見的磊晶矽（epi）則是長在均勻的晶圓結...看更多
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