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奈米通訊。第五卷第三期 30.微影製程之數學模式(I)
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日期：2024-07-07
其中I表光強度；αi為光阻第i個成分之吸收係數；mi表示光阻第i個成分之濃度。而z為如圖一所示的座標系，由空氣／光阻介面為原點；t為時間變數，因此，由上式可得知I與mi的分佈與光阻的深度有關係，而且隨著時間增加（曝光能量增加）而有所變化。...看更多
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