一、簡介微機電系統(Micro-electro-mechanical System ...

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日期:2024-09-08
2002年11月14日 - 半導體式壓力感測元件_矽質壓阻式壓力感測器是所有微 ... 壓阻式壓力感測器的主要原理,是將一具有壓阻特性的材料製作於感測器的. 薄膜結構上 ......看更多