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高性能之低溫多晶矽薄膜電晶體及其應用 - 國家奈米元件實驗室
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日期:2024-09-06
結合超薄氧化矽鉿(HfSiOx)及金屬閘極(TiN)之多晶矽薄膜電晶體,其次臨界擺幅可
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