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國研院奈米元件實驗室- 奈米通訊
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日期：2024-09-10
第四篇為李敏鴻教授等所撰寫的“高性能之低溫多晶矽薄膜電晶體及其應用”，本研究
中他們成功製作出超薄氧化矽鉿及金屬閘極之多晶矽薄膜電晶體，0.3μm通道長度 ......看更多
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