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奈米磁性材料實驗室於國立高雄大學 - Laboratory for nanomagnetic materials
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日期:2024-07-24
本實驗室主要以發展微奈米製程及量測技術為主並針對半導體、磁性及光電奈米材料進行其物理性質及產業應用之相關研究。目前本實驗室已自行開發出二吋晶圓曝光系統,可大面積製作微米級圖案結構,並利用原子力探針奈米氧化及原子力探針電子束 ......看更多