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微機電系統 - 維基百科,自由的百科全書
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日期:2024-07-13
微機電系統(英語:Microelectromechanical Systems,縮寫為MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的,在奈米範圍的類似的技術被稱為奈機電系統。微機電系統在日本被稱作微機械(英語:micromachines ......看更多