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微機電系統與奈米科技 - 國內學術電子期刊系統
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日期:2024-08-06
微機電系統(micro electro mechanical systems,. MEMS)的組成包括:微感測器、微驅動器、及控制電. 路,其技術與應用涵蓋了工程、科學和醫學領域。此技. 術在一九 ......看更多