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![Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_02.jpeg)
Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University
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日期:2024-08-25
電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ......看更多