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![電漿反應器與原理](https://www.iarticlesnet.com/pub/img/site/s_16.jpeg)
電漿反應器與原理
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日期:2024-07-12
本文先對電漿現象及原理作概述,再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異,而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%,近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛, 如 ......看更多